Это оборудование подходит для предварительной обработки пластин перед нанесением клея. Система состоит из камеры, вакуумной системы, системы нагрева, системы продувки азотом, системы дозирования жидкости и системы управления. Благодаря множественным вакуумным циклам и нагреву горячим азотом при температуре 150°C оборудование эффективно сушит и очищает поверхность пластины, предотвращая окисление и диффузию примесей. Система дозирования жидкости также может наносить на поверхность пластины защитную пленку HDMS, что обеспечивает превосходные адгезионные свойства. По сравнению с ручным покрытием HMDS эта система предлагает значительные преимущества, такие как хорошая повторяемость, снижение расхода химикатов, экологичность и безопасность для здоровья человека. Его также можно использовать для очистки пластин в других процессах. В системе управления используется ПЛК, а в человеко-машинном интерфейсе используется сенсорный экран, что обеспечивает высокую надежность, простоту эксплуатации и интуитивно понятное управление.
В процессах производства полупроводников (чипов/интегральных схем) фотолитография является важным этапом передачи рисунка интегральной схемы. Качество покрытия фоторезиста напрямую влияет на качество фотолитографии, что делает процесс нанесения покрытия особенно важным. Большинство фоторезистов, используемых в фотолитографии, гидрофобны, а гидроксильные группы и остаточные молекулы воды на поверхности кремниевой пластины гидрофильны. Это приводит к плохой адгезии между фоторезистом и кремниевой пластиной, особенно с позитивными фоторезистами. Во время разработки раствор проявителя может проникнуть через границу раздела между фоторезистом и кремниевой пластиной, легко вызывая такие явления, как отслаивание и плавание фоторезиста, что приводит к сбою при фотолитографическом переносе рисунка. В то же время влажное травление склонно к латеральному травлению. После предварительной обработки с помощью системы предварительной обработки HMDS на поверхность подложки наносится соединение на основе силоксана. Поверхность пластины меняется с гидрофильной на гидрофобную, уменьшая угол контакта, уменьшая количество требуемого фоторезиста и улучшая адгезию к фоторезисту. Это предотвращает боковое травление и смещение рисунка в процессе разработки, улучшает адгезию фоторезиста и повышает коррозионную стойкость материала в суровых условиях окружающей среды, тем самым значительно улучшая качество продукции и снижая процент дефектов.
Цель процесса:
Оборудование работает полностью автоматически с использованием управления PLC. Процесс включает в себя высокотемпературную сушку подложки для удаления поверхностной влаги в сочетании с технологией вакуумной сушки и защиты азотом для удаления влаги и загрязнений с поверхности пластины, предотвращения окисления и диффузии примесей, а также обеспечения чистоты перед нанесением покрытия. Затем вводят газ HMDS (гексаметилдисилазан C6H19NSi2). При высокой температуре поверхность подложки и ГМДС полностью реагируют, образуя соединение, состоящее в основном из силоксана. Это изменяет поверхность подложки с гидрофильной на гидрофобную, позволяя гидрофобной группе хорошо связываться с фоторезистом, действуя как связующий агент.
Ход процесса:
Сначала включается вакуумный насос, чтобы начать вакуумирование. Как только уровень вакуума в камере достигнет заданного значения (это значение можно установить, изменив значение Р2 на вакуумметре, см. инструкцию к вакуумметру), вводят азот. После достижения заданного уровня вакуума (это значение можно установить, изменяя значение Р1 на вакуумметре), процесс вакуумирования и введения азота повторяется. После достижения заданного количества введений азота снова начинают вакуумирование с последующим введением химического раствора. По истечении установленного времени введение химического раствора прекращается и начинается фаза выдержки. По истечении установленного времени выдержки снова начинаются вакуумирование и введение азота на заданное количество циклов. Как только система автоматически завершит процесс, подается звуковой и визуальный сигнал, указывающий, что пластины готовы к удалению.
① Материал внешней оболочки: Изготовлен из отборной высококачественной холоднокатаной стальной пластины (Q235), точно обработанной на станке с ЧПУ. Поверхность обработана фосфатированием и антистатическим порошковым покрытием, образующим прочную оболочку. Он антистатичен, устойчив к коррозии и царапинам, что обеспечивает длительное качество;
② Внутренняя камера: Внутренняя камера изготовлена из матовой нержавеющей стали 304, имеет сертификат материала (доступен отчет о материале), устойчива к коррозии и легко чистится;
③ Панель управления: контроллер с цветным сенсорным экраном высокого класса, отображающий ключевые параметры, такие как температура и время, в режиме реального времени. Интеллектуальные подсказки с информацией о неисправностях и тревогах обеспечивают четкое и интуитивно понятное управление;
④ Смотровое окно: Панорамное смотровое окно с большим углом обзора, в котором используется двухслойное закаленное стекло толщиной 8 мм снаружи и 20 мм внутри, устойчивое к высоким температурам и очень прозрачное, четко отображающее всю внутреннюю часть камеры в режиме реального времени, что позволяет сразу понять статус эксперимента;
⑤ Полки: стандартные хромированные, устойчивые к коррозии сетчатые полки, также доступны в различных материалах и конструкциях для гибкой адаптации к различным экспериментальным потребностям;
⑥ Изоляционный слой: пространство между внешней оболочкой и рабочей камерой заполнено хлопковым керамическим волокном высокой чистоты толщиной 80 мм (Al₂O₃), что обеспечивает превосходную теплоизоляцию, значительно снижает потери тепла, обеспечивает постоянную температурную стабильность и высокую энергоэффективность;
⑦ Уплотнительная лента: оснащена изготовленным по индивидуальному заказу уплотнительным кольцом из силиконовой резины с выпуклой структурой по окружности и уникальной технологией активного вакуумного уплотнения. Он мгновенно образует канал во время сброса давления, значительно повышая эффективность нарушения вакуума и обеспечивая легкое открытие двери после сброса давления;
⑧ Нагревательная трубка: изготовленная по индивидуальному заказу сверхдолговечная нагревательная трубка из нержавеющей стали SUS304 с дополнительной полкой/окружающей нагревательной конструкцией, точно адаптированная к процессу, обеспечивающая равномерный и эффективный нагрев;
⑨ Впускные/выпускные клапаны: полностью медные вакуумные клапаны, простые и чувствительные в эксплуатации, с надежным уплотнением;
① Эта система автоматически выполняет запрограммированные циклы постоянной температуры, высокого вакуума и продувки инертным газом в соответствии с заданными параметрами; точно контролирует момент впрыска жидкости и поддержания давления; и подает звуковые и визуальные сигналы после завершения процесса.
② Цветной сенсорный экран: оснащен стандартным цветным экраном и сенсорным управлением, отображающим такие параметры, как заданная температура, рабочая температура, время поддержания постоянной температуры и информация о неисправностях на одном экране; динамическая регулировка параметров ПИД с такими функциями, как скорость срабатывания и подавление перерегулирования температуры;
③ Использует микрокомпьютер ПИД-регулятор температуры с защитой от отклонения от перегрева, защитой от превышения скорости и сенсорным дисплеем, а также включает функцию синхронизации;
④ Несколько режимов синхронизации: 1. Единицы времени можно свободно переключать между минутами и часами; 2. Два режима синхронизации: время от включения и время после достижения постоянной температуры;
⑤ Оснащен высокоточным резистивным кремниевым датчиком вакуума, который стабилен и надежен и определяет степень вакуума внутри камеры в режиме реального времени, обеспечивая точную поддержку данных и гарантию точных процессов;
⑥ Модернизированный микрокомпьютерный чип звуковой и световой сигнализации для сканирования окружающей среды со стабильными возможностями обработки данных;
⑦ Функции включают в себя сигнализацию о перегреве, отключение нагрева при перегреве, отключение по времени, восстановление при включении питания, память параметров, коррекцию температуры и самонастройку;
⑧ Функция восстановления после сбоя питания: если внешний источник питания внезапно пропадает, а затем восстанавливается, оборудование может автоматически возобновить работу в соответствии с исходной установленной программой;
⑨ Самонастройка: если точность контроля температуры неточна из-за изменений температуры окружающей среды, можно выполнить самонастройку, чтобы сделать температуру более точной;
⑩ Можно свободно переключать несколько режимов: режим фиксированного значения/переключение режима синхронизации.
| Модель | ДЭП-HMDS50 | ДЭП-HMDS50 | ДЕП-HMDS150 |
| Система управления | Промышленный компьютер ПЛК | ||
| Взаимодействие человека и компьютера | Контроллер с 7-дюймовым цветным сенсорным экраном | ||
| Датчик температуры | PT100 Платиновый термометр сопротивления | ||
| Температурный диапазон | КТ 10～200℃ | ||
| Температурное разрешение | 0,1 ℃ | ||
| Колебания температуры | ≤±0,5℃ | ||
| Диапазон таймера | 0～9999мин | ||
| Программная группа | 100 групп/100 сегментов в группе | ||
| Безопасность данных | Контроль доступа уровня 3, контрольный журнал | ||
| Интеллектуальная безопасность | Самотестирование при включении, сигнализация о перегреве и отключение нагрева, коррекция отклонения датчика температуры, блокировка экрана. | ||
| Направление времени | Обратный отсчет/обратный отсчет | ||
| Блок времени | Минута/час | ||
| Вакуумметр | Резистивный кремниевый вакуумметр | ||
| Абсолютный вакуум | ≤100 Па | ||
| Скорость откачки | 2л/с | ||
| Напряжение источника питания | 220 В переменного тока/50 Гц | 220 В/18 А | 220 В/18 А |
| Номинальная мощность | 2кВт | 3кВт | 3,2 кВт |
| Внутренние размеры | 410x370x345 мм | 450х450х450мм | 500х500х600мм |
| Внешние размеры | 610x525x1285 мм | 660х590х1470мм | 670х650х1630мм |
| Объем | 52л | 91л | 150л |
| Стандартные полки | 2 | 2 | 3 |
| Вес брутто/нетто | 152/138 кг | 185/165 кг | 235/205 кг |
| Нет. | Имя | Параметры | Справочное фото |
| 1 | Спиральный вакуумный насос | ① Безмасляный насос | |
| 2 | Фильтр масляного тумана | ① Фильтрует масляный туман из вакуумного насоса |  |
Продукция известных предприятий пользуется большим доверием пользователей.
Шанхайская компания по производству инструментов Dengsheng, Ltd. , является высокотехнологичным предприятием, объединяющим исследования и разработки, производство, продажи и обслуживание. Мы специализируемся на производстве высококачественного лабораторного оборудования, включая печи, инкубаторы, промышленные печи и камеры для экологических испытаний.
As и We могут похвастаться современным производственным комплексом площадью 8000 квадратных метров, специальной командой исследований и разработок, 23 национальными патентами и сертификацией системы управления качеством ISO-9001. Наши решения широко используются в таких передовых областях, как аэрокосмическая промышленность, производство полупроводников, биомедицина, автомобилестроение и новые материалы. Мы установили тесные партнерские отношения с ведущими университетами и лидерами отрасли, наша продукция экспортируется во многие страны и регионы по всему миру.
Придерживаясь принципов «честности, инноваций и взаимовыгодности», мы стремимся стать вашим надежным партнером, предлагающим надежное качество и специализированное обслуживание.
Мы приветствуем запросы и сотрудничество как со стороны новых, так и со стороны существующих клиентов, предоставляя профессиональные решения в области оборудования.
2026/03/09
2026/03/02
2026/02/24
Вернуться к началу
